科林研发公司(Lam Research)正在向三星电子(Samsung Electronics)和SK海力士(SK Hynix)供应蚀刻和镶嵌设备,以支持他们在高带宽存储器(HBM)领域的后段制程设备。据韩国媒体Theelec报道,科林研发的Syndion和SABRE 3D系列产品被这两家公司用于制作TSV封装和WLP TSV。
HBM是一种通过垂直连接多个DRAM芯片以大幅提高数据处理速度的产品。其中,TSV封装技术备受关注,它通过在芯片上钻孔并填充金属来实现垂直导通,从而增强芯片的堆叠能力。科林研发的蚀刻设备主要用于钻孔,而镶嵌设备则用于铜镶嵌填充。
根据三星和SK海力士的HBM发展蓝图,到2026年,他们预计将上市的HBM4将采用2048位元界面,这比目前量产的HBM3大一倍。这种趋势将进一步拉动蚀刻和镶嵌设备的需求。
最近,科林研发还在韩国天安开设了事务所,这可能是为了方便向三星电子等客户提供服务。事实上,三星计划在天安工厂新建HBM封装生产线,最近还与三星显示器(Samsung Display;SDC)签订了特殊关系人资产转让合约,以105亿韩元(约795万美元)收购SDC天安工厂的部分建筑和设施,计划在天安工厂新建HBM封装生产线。
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