2023年8月30日，“2023国际Mini/MicroLED供应链创新发展峰会”在上海成功举行，会上，芯碁微电子装备股份有限公司副总经理曲鲁杰发表了主题为《AM Mini LED数字背光开启LCD显示新篇章》的演讲。他深入探讨了直写光刻技术在LCD显示领域的开创性应用。
在面板显示领域，目前投影光刻和渐进式光刻设备占主导地位。然而，芯碁微电子装备股份有限公司于2019年接手国家工业项目，成功开发了OLED 6代线的直写光刻设备，不仅完成了高世代线的研发，还进行了客户验证。
作为专注于直写光刻装备研发和生产的高科技公司，芯碁微电子装备股份有限公司主要应用于泛半导体和PCB领域。在泛半导体领域，他们凭借直写光刻技术在激烈的竞争中脱颖而出；在面板领域，芯碁微电子装备股份有限公司一直保持领先地位，不断扩展并应用该技术于芯片制作、生物芯片、3D器件、光电传感器、光波导、光电封装等细分领域，同时应用于整个PCB领域的生产线。
直写光刻技术作为一项相对陌生的技术，曲鲁杰首先简要介绍了其特点。与传统投影光刻技术不同，直写光刻技术无需掩模板，具备高速度和高分辨率的优势。曲鲁杰指出，直写光刻技术涵盖激光直写和电子直写，其分辨率可达15纳米制板。同时，他还详细介绍了基于大平面和基于传感器的两种主要直写光刻技术，后者包括用于数字掩模生成的DMD。
据了解，直写光刻设备包括激光系统、DMD、成像系统和专门的调胶系统。通过多头技术、曝光容量增加、扫描速度提高以及调制频率等技术手段，可有效提升产能，提高直写光刻设备的生产效率。
曲鲁杰随后深入解析了直写光刻的工作原理，包括数字化过程、图形设计和曝光过程。他还介绍了倾斜扫描技术，旨在提高分辨率。面对处理大量数据的挑战，他表示将采取同时处理曝光和数据的方式来迎接这一挑战。
这场峰会为业界带来了直写光刻技术的前沿应用和创新发展，标志着LCD显示领域的新篇章已经开启。
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