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ASML下一代光刻机曝光？

来源：责编：时间：2023-09-07 10:55:55 210观看

导读‍‍集微网·爱集微APP，各大主流应用商店均可下载荷兰半导体设备制造商ASML首席执行长Peter Wennink表示，尽管存在一些供应商的阻碍，公司今年仍将按计划在其下一个产品线中推出首款测试工具。该款高数值孔径的极紫外光刻

集微网·爱集微APP，各大主流应用商店均可下载

荷兰半导体设备制造商ASML首席执行长Peter Wennink表示，尽管存在一些供应商的阻碍，公司今年仍将按计划在其下一个产品线中推出首款测试工具。该款高数值孔径的极紫外光刻（EUV）机器只有卡车大小，每台成本超过3亿欧元（台币102亿元），顶级芯片制造商需要这些机器，以便能够在未来十年生产更小、更好的芯片。

在将高数值孔径EUV投入商业生产之前，客户将对其进行试验，逻辑芯片制造商比存储器芯片制造商更需要此工具。

只有台积电、英特尔、三星以及存储器芯片制造商SK海力士和美光使用ASML目前的领先产品，即常规EUV工具，每台成本超过2亿美元。在美国的压力下，荷兰政府不授予ASML向中国芯片制造商出口EUV工具的许可证。

另外，Wennink证实，到2023年，ASML上一代深紫外光刻（DUV）机器的销售额将超过EUV机器。ASML预计今年销售额将增长30%，部分原因是中国大陆客户对旧机器的强劲需求。

Wennink表示，随着高端AI芯片需求的蓬勃发展，美国亚利桑那州和中国台湾的新芯片工厂也准备好接收EUV设备并使用，这种情况应该会在2024年发生逆转。

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