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蔚华科携南方科技推出JadeSiC-NK缺陷检测系统

来源：责编：时间：2023-11-30 09:26:48 195观看

导读在全球半导体市场掀起一股创新浪潮，蔚华科（股票代码：3055-TW）宣布与旗下数位光学品牌南方科技携手合作，共同推出引领行业变革的产品——JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统。该系统以先进非线性光学技术为基础，彻底颠覆了传统

在全球半导体市场掀起一股创新浪潮，蔚华科（股票代码：3055-TW）宣布与旗下数位光学品牌南方科技携手合作，共同推出引领行业变革的产品——JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统。该系统以先进非线性光学技术为基础，彻底颠覆了传统破坏性检测方式，助力化合物半导体行业实现全新突破。

据蔚华科董事长秦家骐透露，目前已有8-10家潜在客户在测试该系统，涵盖了台湾、中国、欧洲等地，而美国也将很快加入其中。秦家骐对产品前景充满信心，认为这将是一次“全垒打”，未来还将与南方科技共同加速推动矽光子等先进光学检测技术商业化。

化合物半导体基板材料的质量直接影响下游晶片的可靠性和性能。然而，SiC基板的长晶速度相对较慢，而且传统的基板晶体缺陷检测方式需要采用破坏性的KOH蚀刻方法，导致SiC晶片成本居高不下。

JadeSiC-NK非破坏性缺陷检测系统通过先进的非线性光学技术，对碳化矽（SiC）基板进行全片扫描，准确找出基板内部的致命性晶体缺陷。相较于传统的高成本破坏性KOH（氢氧化钾）蚀刻检测方式，该系统能够提升产量，有助于改善制程效率。

南方科技总经理王嘉业表示，在每个长晶炉月产4个SiC晶锭的情况下，采用JadeSiC-NK系统后，每个晶锭可节省2片基板成本。以每片6吋基板800美元计价，一个长晶炉每年可望节省新台币250万元因蚀刻而损耗的成本。

这一引领科技发展的创新产品标志着蔚华科与南方科技共同在半导体行业取得的重要突破，为未来的技术合作和商业发展奠定了坚实的基础。

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