凯世通国产离子注入机突破500万片大关

5月16日，凯世通在上海浦东新区举办了一场庆典活动，庆祝其国产低能大束流离子注入机在12英寸晶圆产品片上的过货量突破500万片。
离子注入机作为芯片制造的三大核心装备之一，技术门槛极高，仅次于光刻机。其中，低能大束流离子注入机不仅市场规模最大，还面临极高的产业化难度。据公开资料显示，自2020年交付首台设备以来，凯世通始终坚持自主研发和原创设计，攻克了多项技术难题，实现了关键部件的国产化。公司不仅覆盖了28纳米工艺的全面应用，还成功支撑了国内10余家主流12英寸集成电路产线的安全量产，涉及先进逻辑、先进存储、CIS图像传感器以及功率芯片四大核心领域。
活动现场，客户代表向凯世通授予了“凯世通速度”书法作品，以表彰其在技术研发和量产方面的卓越表现。凯世通以“每月等效2个月”的研发效率，不断刷新低能大束流离子注入机在产线安全量产上的新高度，探索国产化应用的无人区。

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