东方晶源发布新一代电子束检测设备

据报道，东方晶源最新推出的DR-SEM r655产品实现了多项技术升级。新一代设备配备了高性能电子枪、光学检测模组以及升级版传片系统和算法系统，成功突破了一系列技术瓶颈，能够满足国内先进制程产线的应用需求。
电子束检测成像技术方面，r655搭载5通道探测器，覆盖了更广泛的检测需求。4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升了缺陷立体成像效果，尤其在浅刮伤等微小缺陷的复检中表现出色。顶端探测器则增强了背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程的多种场景需求。此外，设备还适配高深宽比结构检测，性能可与国际成熟机型媲美。
光学检测方面，r655通过两项核心改进实现了灵敏度的突破。其优化后的光路设计缩小了与目标缺陷尺寸的检测差距，同时基于自研光路和国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来还具备进一步优化的潜力。
在效能方面，r655通过平台级升级全面优化了晶圆吞吐效率。新设备缩短了晶圆传输时间，并配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备水平。模块化扩展设计则支持多种选配模组和升级需求，确保设备在先进制程中具备长期竞争力。

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