1.EUV光刻光源核心部件研究获新进展,上光所锡液滴发生器达到100kHz工作频率
集微网消息,国内权威期刊《激光与光电子学进展》日前发表由中国科学院上海光学精密机械研究所团队提交的《100 kHz重复频率锡液滴靶研究》一文。
根据该文介绍,锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。该论文展示了上海光机所EUV光源团队近来在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。
现阶段,该所团队研制的锡液滴发生器实验装置,在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径~40 μm,间距~230 μm,工作时长接近5h。锡液滴在10 s短时间内,竖直和水平方向的位置不稳定性分别为2 μm和1 μm左右。
不过对比目前商用产品,上述指标仍有较大差距,如2015年ASML产品中采用的液滴靶,可实现液滴直径为27 μm左右,频率50 kHz,液滴间距大于1 mm,最大可到3 mm,液滴30 s短时间内的位置不稳定性~1 μm,连续工作时长一个月以上,液滴直径在20 min内的不稳定性为0.5 μm。
该文表示,未来在锡液滴的可用性性能,如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性还需进一步提升,相关的探测和分析手段也有待完善,以满足EUV光刻光源对液滴靶的工程需求。
2.中芯国际“承载装置、晶圆测试设备以及晶圆测试方法”专利公布
集微网消息,天眼查显示,中芯国际“承载装置、晶圆测试设备以及晶圆测试方法”专利公布,申请公布日为9月1日,申请公布号为CN116682750A。
该专利的专利权人为中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司。
图片来源:天眼查
专利摘要显示,一种承载装置、晶圆测试设备以及晶圆测试方法,承载装置包括:主加热平台,用于承载待测晶圆并对所述待测晶圆进行加热;环形的副加热平台,环绕所述主加热平台,用于与所述主加热平台顶面围成放置所述待测晶圆的容纳空间。降低了所述探针因受热不均匀而产生针痕偏移的风险,有利于提高晶圆测试的可靠性,并降低因晶圆表面破损而产生良率损失和可靠性风险的概率;同时,在对待测晶圆进行高温测试的过程中,由于所述探针卡上的各探针受热均匀,在测试过程中,省去了对所述探针卡进行预热的步骤,提高了生产效率,降低了测试成本。
3.荣耀“一种消除屏闪的方法及电子设备”专利公布
集微网消息,天眼查消息,荣耀终端有限公司“一种消除屏闪的方法及电子设备”专利公布,申请公布日为9月1日,申请公布号为CN116679509A。
专利摘要显示,本申请提供了一种消除屏闪的方法及电子设备,涉及光学成像技术领域。该方法包括:基于抗闪烁传感器获取的光谱信息值,得到第一序列;对第一序列以及第二序列进行差分处理,得到第三序列,第二序列为第一序列移位后的序列;基于第三序列中的光谱信息值,获取屏闪频率;向电子设备的自动曝光模块发送屏闪频率,以使自动曝光模块根据屏闪频率进行曝光时间的调整。其中,差分处理可使环境光中的灯光对应的原始光源波峰与环境光对应的移位后的波谷位置严格对齐,波峰与波谷做差分时只消除了直流分量的干扰,不会造成原始数据的丢失,使光源频率可以正常检出,从而消除电子设备中的屏闪。
4.荣耀“调整移动终端天线的方法、装置、电子设备及可存储介质”专利公布
集微网消息,天眼查显示,荣耀终端有限公司“调整移动终端天线的方法、装置、电子设备及可存储介质”专利公布,申请公布日为9月1日,申请公布号为CN116684519A。
图片来源:天眼查
专利摘要显示,本申请实施例提供了一种调整移动终端天线的方法、装置、电子设备及可存储介质,该方法包括:获得移动终端的触控数据和移动终端的姿态数据;触控数据指示移动终端的触摸显示屏被触控的位置;根据触控数据和姿态数据,确定移动终端所处的被握持模式;根据移动终端的被握持模式,将移动终端的天线工作状态调整为被握持模式对应的工作状态。通过移动终端的触控数据和移动终端的姿态数据,可以确定移动终端的触摸显示屏上被人手接触的位置和移动终端的当前姿态,从而可以判断移动终端的天线区域与人手接触的位置,进而可以判断移动终端中受人手影响的天线。如此,可以针对性地调整移动终端的天线的工作状态,从而提高移动终端的通信性能。
5.中国科大提出了金属电子梭催化新范式
近日,中国科学技术大学黄汉民教授课题组在提出了“金属电子梭催化”的新范式,并利用该范式开拓性地实现了首例非活化烯烃的双烷基化反应。相关研究结果于8月21日以“Double alkyl-alkyl bonds construction across alkenes enabled by nickel electron-shuttle catalysis”为题在线发表在《Nature Catalysis》上。
过渡金属催化的碳-碳成键反应是当代有机化学研究领域的重要组成部分,其中,建立在多种碳-金属活性中间体相互转化基础上的C(sp2)-C(sp2)成键反应得到了长足发展,该研究于2010年获得了诺贝尔化学奖。然而,过渡金属催化的C(sp3)-C(sp3)成键反应却发展相对缓慢,这是由于该类反应过程中生成了不稳定的烷基-金属中间体,导致其发生多种副反应,使得经典的催化范式难以应用于C(sp3)-C(sp3)成键反应。烯烃的双碳化反应,即通过一步反应向烯烃两端同时引入两个碳官能团,因其能够高效地连接碳原子从而有利于构建复杂分子,近些年来得到了合成化学家的广泛关注。已有的报道往往受限于引入C(sp2)官能团,或是需要在烯烃上提前引入配位基团来稳定烷基金属中间体,这无疑降低了反应的底物适用性和步骤经济性,不符合绿色化学,碳中和的发展目标。
针对烯烃双官能化反应中的挑战,研究团队经过长期研究积累和大量实验探索,提出了“金属电子梭”催化新范式,即利用金属催化剂作为电子梭来引发和淬灭自由基,借助自由基对不饱和键的加成实现多个烷基碳碳键的构建,从而避免不稳定烷基金属中间体的产生。在该研究工作中,研究人员使用镍催化剂作为电子梭,同时使用氮氧缩醛和卤代烃作为烷基化试剂,实现了非活化烯烃的双烷基化反应。该方法对简单烯烃、非活化烯烃以及多取代烯烃等均具有很好的兼容性,同时多种类型的烷基化试剂均能够在该反应条件下适用,直接使用二级胺和多聚甲醛也能够替代氮氧缩醛进行四组分反应,进一步拓宽了反应的应用范围。
该反应提供了一种合成氟代和非氟代δ-氨基酸等非天然氨基酸衍生物的有效方法,同时,反应引入了多种官能团,能够进行进一步转化,合成更有价值的复杂分子。例如,通过对反应产物进行还原环化,能够快速构建广泛存在于药物分子中的哌啶类化合物。利用这种转化策略,研究人员合成了药物分子Mepazine以及相应的氟代衍生物,充分证明了反应的实用价值。
Nature Catalysis杂志的审稿人对该工作给予了高度评价,称该项工作“研究内容引人入胜”(…the findings are sufficiently compelling…),“代表了自由基介导双官能化反应中的一项杰出工作”(This synthetically important paper represented an excellent work of radical-mediated difunctionalization reaction.)。值得强调的是,该反应不仅具有较高的合成应用价值,同时也作为金属电子梭催化范式的一个实例,展现了该催化范式广阔的发展前景。对金属电子梭催化范式的进一步研究有望引领开发新的有机化学成键方法,并对天然产物、药物和功能分子合成等领域的发展起到推动作用。
来源:中国科学技术大学
6.美满电子公布印度扩增计划:员工增至500人,建设研发实验室
集微网消息,在印度政府政策激励下,世界各大半导体、电子行业公司都在对印度加大投资,建设工厂、扩大业务。据电子时报9月4日消息,美满电子(Marvell)公布了未来在印度的发展战略,计划在浦那市设立一个新的办事处,并使员工数量增加一倍,增设更多的实验室和服务器。
美满电子印度区域经理Navin Bishnoi在接受媒体采访时表示,公司未来5年的规划意义重大。“如今,我们正在建设一个占地10万平方英尺的新办公室,计划第四季度迁入。这一新设施可以满足公司员工数增加一倍的要求,未来将增加至约500人。此外,公司还将建设两个拥有300台服务器的大型实验室。美满电子的存储产品组合、所有端到端产品的开发,都将在这个新的研发中心进行。”
据了解,美满电子在印度浦那市、班加罗尔、海得拉巴和金奈都设立了分支机构,近年来在印度的规模稳定扩大。除了在印度建立多个研发中心外,美满电子还在印度经营企业IT开发、软件开发、网络安全等业务。目前该公司很大一部分研发都在印度进行。
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