当前位置：首页 > 科技 > 芯片

日本开发这项新技术，可将SiC晶圆制造成本降低30%

来源：责编：时间：2023-09-08 17:40:52 221观看

导读由于SiC硬度大和易脆裂等特性，晶锭切割成为制约SiC器件制造核心瓶颈。近期，日本Dry Chemicals开发了一种新的工艺，能够将SiC晶圆的制造成本降低20~30%。该技术的核心是在晶锭上进行开槽，这样可以使得晶圆切片的时候更加

由于SiC硬度大和易脆裂等特性，晶锭切割成为制约SiC器件制造核心瓶颈。近期，日本Dry Chemicals开发了一种新的工艺，能够将SiC晶圆的制造成本降低20~30%。

该技术的核心是在晶锭上进行开槽，这样可以使得晶圆切片的时候更加平整，从而减少晶圆表面的研磨、抛光等后处理所需的步骤数量。目前，该公司将于10月份开始晶圆代加工，并且对外销售该设备，预计第一年销售5~10台。

该技术的步骤主要是在切割前，先用磨石在晶锭要切割的位置开出一个圆周凹槽，这些凹槽可以充当线锯的导向装置，从而可以更精确地切割晶片。

由于SiC晶体特别坚硬，在切割的时候会发生漂移，如果有凹槽，磨粒可以有效地渗透，从而很难发生漂移，这种方法能够将晶圆表面的损伤控制在最小限度。对于厚度为15mm的晶锭、可以切割20个凹槽，目前该工艺所能切割的最大晶锭厚度为40mm，可以切割75片晶圆。

一般情况下，对晶锭切割后需要对晶圆的端面进行加工刮平，但基于这项工艺的晶锭切割，会直接形成刮平，进一步提高了效率。只需要在切割后立即进行镜面研磨、化学机械抛光（CMP）、清洁和检查即可获得成品。

图片来源：拍信网正版图库

SiC切割

为了提高良率，近年来不少企业都采用更为先进的激光切割和冷分离技术。

其中英飞凌通过收购一家名为SILTECTRA的科技公司，掌握了SiC的冷切割技术，该切割技术主要分为2个技术环节。首先是用激光照射晶锭剥落层，使SiC材料内部体积膨胀，从而产生拉伸盈利，形成一层非常窄的微裂纹。第二步则是通过聚合物冷却步骤将微裂纹处理为一个主裂纹，最终将晶圆与剩余晶锭分来。该技术能够将材料损失降到最低，并且让单个晶锭可出产的芯片数量翻番。

在激光切割SiC这一领域，国内也有企业正在探索。今年5月，德龙激光表示其已经布局SiC晶锭切割，已经将6英寸的加工时间缩短至15分钟以内，且分片后研磨损耗小于 50 微米，在总体时间上，德龙激光的一锭切出来30片晶圆，大概需要4~5个小时，相对于传统的金刚线则只能切出22、23片晶圆来说，激光切割效率提升了40%左右，目前德龙激光的最大可切割尺寸为8英寸。

（文：化合物半导体市场Jump整理）

更多SiC和GaN的市场资讯，请关注微信公众账号：化合物半导体市场。

本文链接：http://www.28at.com/showinfo-27-8395-0.html日本开发这项新技术，可将SiC晶圆制造成本降低30%

声明：本网页内容旨在传播知识，若有侵权等问题请及时与本网联系，我们将在第一时间删除处理。邮件：2376512515@qq.com

上一篇：江西国政招标咨询有限公司关于江西省美术馆采购南昌地铁1号线八一广场站LED大屏广告宣传服务项目（招标编号：JXGZ2023-08-1103-02）竞争性磋商采购公告

下一篇： Omdia：2023年第二季度半导体行业营收环比增长3.8% 达1243亿美元

标签：

热门焦点

掘力计划第 20 期：Flutter 混合开发的混乱之治

在掘力计划系列活动第20场，《Flutter 开发实战详解》作者，掘金优秀作者，Github GSY 系列目负责人恋猫的小郭分享了Flutter 混合开发的混乱之治。Flutter 基于自研的 Skia 引擎
Golang 中的 io 包详解：组合接口

io.ReadWriter// ReadWriter is the interface that groups the basic Read and Write methods.type ReadWriter interface { Reader Writer}是对Reader和Writer接口的组合，
JavaScript学习 -AES加密算法

引言在当今数字化时代，前端应用程序扮演着重要角色，用户的敏感数据经常在前端进行加密和解密操作。然而，这样的操作在网络传输和存储中可能会受到恶意攻击的威胁。为了确保数据
腾讯盖楼，字节拆墙

来源 | 光子星球撰文 | 吴坤谚编辑 | 吴先之“想重温暴刷深渊、30+技能搭配暴搓到爽的游戏体验吗？一起上晶核，即刻暴打！”曾凭借直播腾讯旗下代理格斗游戏《DNF》一
一条抖音4亿人围观 ! 这家MCN比无忧传媒还野

作者：Hiu 来源：互联网品牌官01 擦边少女空降热搜，幕后推手曝光被网友誉为“纯欲天花板”的女网红井川里予，近期因为一组哥特风照片登上热搜，引发了一场互联网世界关于
当家的盒马，加速谋生

来源 | 价值星球Planet作者 | 归去来自己“当家”的盒马，开始加速谋生了。据盒马官微消息，盒马计划今年开放生鲜供应链，将其生鲜商品送往食堂。目前，盒马在上海已经与
华为Mate 60系列用上可变灵动岛：正式版体验将会更出色

这段时间以来，关于华为新旗舰的爆料日渐密集。据此前多方爆料，今年华为将开始恢复一年双旗舰战略，除上半年推出的P60系列外，往年下半年的Mate系列也将
机构称Q2全球智能手机出货量同比下滑11% 苹果份额依旧第2

7月20日消息，据外媒报道，研究机构的报告显示，由于需求下滑，今年二季度全球智能手机的出货量，同比下滑了11%，三星、苹果等主要厂商的销量，较去年同期均有下
2022爆款：ROG魔霸6 冰川散热系统持续护航

喜逢开学季，各大商家开始推出自己的新产品，进行打折促销活动。对于忠实的端游爱好者来说，能够拥有一款梦寐以求的笔记本电脑是一件十分开心的事。但是现在的