随着碳化硅（SiC）产业的迅猛发展，两家SiC相关设备制造商近日宣布成功完成批量出货，显示了该领域的繁荣态势。
广州粤升半导体设备有限公司在11月13日成功完成多台SiC设备的批量出货，其中液相法SiC单晶炉是SiC产业链中的关键组成部分。该产品为客户提供了高质量、低成本的SiC衬底新解决方案。广州粤升成立于2021年9月，专注于SiC外延设备和SiC晶体生长设备的研发与生产，为客户生产高质量的SiC外延片和晶片。
在短短两年内，广州粤升取得了显著的研发进展。该公司与广州海创产业技术研究院合作，成立了SiC外延设备研发中心，成功研发了SiC外延设备，并于2023年2月开始液相法SiC单晶设备的研发。该公司的努力不仅推动了SiC外延设备国产化进程，而且为SiC产业链的发展贡献了力量。
另一方面，优睿谱半导体设备（无锡）有限公司宣布推出SICV200晶圆电阻率量测设备，并已成功发货给两家客户。SICV200是一款用于测量硅片电阻率、SiC或其他半导体材料掺杂浓度的半导体量测设备。该设备支持各种不同尺寸晶圆，包括12英寸，在多频率下进行CV特性分析。该公司成立于2021年，专注于打造高品质的半导体前道量测设备。
在今年7月，优睿谱已成功交付SiC自动光学位错微管检测设备SICD系列，用于SiC衬底的位错及微管缺陷检测。此外，其FTIR设备Eos200Lite也已成功获得多家头部SiC基外延厂订单，可用于SiC外延片外延层厚度及均匀性测量。
这两家公司的成功批量出货标志着碳化硅产业链的不断完善和SiC技术的日益成熟。这对于推动碳化硅在半导体领域的应用，尤其是在新能源和电动汽车等领域，具有积极的推动作用。 SiC技术的不断创新和设备的不断进步将为未来高性能半导体的发展提供更为坚实的基础。
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