标题看似引人疑惑,很多人可能只注意到“光刻机”二字,但实际上,文章谈论的是后道光刻机,即在芯片制造的后续工序中使用的设备。在芯片制造过程中,前道光刻机用于加工硅晶圆,而后道光刻机则用于切割成Die、封装测试等工序。
ASML在前道光刻机领域占据主导地位,而上海微电子在后道光刻机上却表现得相当强大。全球市场上,上海微电子拥有37%的份额,国内更是达到了85%,超过了ASML在国内的竞争对手地位。虽然后道光刻机相对于前道来说简单一些,但在整个芯片制造过程中仍不可或缺。
上海微电子这种全球最顶级水平的后道光刻机制造能力,为国内减少了对国外设备的依赖,也为我国芯片制造业的发展贡献了重要力量。
虽然上海微电子在前道光刻机上尚需进步,但随着技术的不断提升,未来或许会迎来更多的突破,实现在浸润式等领域的创新。
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