近日，专注于原子力显微镜（AFM）探针研发的探真纳米科技（衢州）有限公司宣布完成Pre-A/A轮融资，获得衢州绿石新材料股权投资合伙企业（有限合伙）与杭州德甫股权投资有限责任公司超千万元投资。本轮资金将主要用于优化探针批量化制备工艺、提升产品稳定性及良率，同时推进全品类探针研发与新产线建设。
作为纳米科技、材料科学及半导体工业的核心检测工具，原子力显微镜通过纳米级探针对芯片表面进行精密扫描，承担着半导体制造中"质量把关"的关键角色。其核心消耗部件AFM探针长期依赖进口，不仅价格高昂且供应受限，成为制约科研与产业发展的瓶颈。据行业数据显示，国内市场99%的AFM探针仍依赖国际品牌，国产化替代需求迫切。
探真纳米科技凭借自主创新的干法刻蚀微纳加工工艺，实现了从晶圆级材料到探针成品的完整制造链条。该技术突破了传统湿法刻蚀对硅晶向的依赖，可精准调控探针曲率半径、深宽比等核心参数。公司创始人崔波教授透露，通过二十年技术迭代，干法刻蚀成本已降至可替代湿法工艺的水平，其产品在关键性能指标上已达到国际领先水平，部分参数甚至优于国际头部品牌。
技术优势转化为市场认可的速度超出预期。今年年初上市的AFM探针产品已进入多家科研院所采购清单，并在半导体领域实现规模化销售。某集成电路制造企业测试报告显示，探真产品价格较国际品牌低30%-40%，在深宽比、针尖寿命等指标上表现相当，扫描图像质量已满足产业应用标准。目前制约大规模替代的主要因素在于产品稳定性，但崔波教授表示，通过工艺优化，良率问题将在半年内得到显著改善。
品牌信任构建成为国产替代的最后一道门槛。崔波教授观察到，尽管测试阶段用户对国产性能普遍认可，但采购决策时仍倾向沿用Olympus、NanoWorld等国际品牌。"这种使用惯性需要时间打破，我们计划通过持续技术迭代和案例积累，逐步建立市场信心。"他同时指出，国内完善的产业配套为技术转化提供了有力支撑，以金刚石探针为例，本土供应商已能提供高质量薄膜材料，形成完整产业链闭环。
这家成立于2016年的技术型企业，其研发基因深植于创始人学术背景。崔波教授本科毕业于北京大学物理系，在普林斯顿大学取得电子工程博士学位后，于加拿大滑铁卢大学从事微纳加工研究近三十年。2024年加盟宁波东方理工大学后，其课题组与探真纳米保持深度技术协同，目前正围绕导电探针、磁性探针等特种产品开展攻关，形成覆盖全应用场景的产品矩阵。
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